Patariu.lt   Studijos   N-18   Sapnininkas   Receptai

Rezistorių, pagamintu joninės implantacijos metodu, konstrukcijos skaičiavimas

Jonines implantacijos metodu pagamintas  integralinis rezistorius  pagal savo konstrukciją praktiškai  neturi jokių  esminių  konstrukcijos skirtumų  nuo įprasto difuzinio rezistoriaus (pav.4). Skiriasi tik  dirbančio rezistoriaus sluoksnio storis: jei bazinės srities difuzinio rezistoriaus storis ~ 2…3,5 mm, tai jonines implantacijos rezistoriaus darbinio sluoksnio storis – tik 0,1…0,2 mm, o vieno kvadrato varža  siekia  500…20 000 W. Skaičiuojant tokius rezistorius ,galima panaudoti formules (4.8-4.15), bet neįvertinant šoninės difuzijos. Vieno kvadrato paviršinė sluoksnio varža galima priimti  ~ 10 kW/ÿ.

3 pav. Joninės implantacijos metodu pagaminto integrinio  rezistoriaus                    konstrukcija: topologija – (a), pjūviai – (b) ir (c);

1 – metalizacijos takeliai į rezistoriaus išvadų kontaktų langus; 2 – atgalynės įtampos takelis; 3 – implantuotas rezistoriaus sluoksnis ilgio l ir pločio b; 4 – skiriamosios difuzijos langas; 5 – skiriamoji difuzija.

Rezistorių skaičiavimo rezultatus yra pateikti lentelėje 3:

Lentelė 3. Implantuotų rezistorių ilgio ir pločio skaičiavimo rezultatai.

Nr. R, W P, W bef.p , mm bef.0 , mm bef. , mm K1 K2 lskaič , mm bf.š , mm
1 60000 0,018 27,4 3 27,4 0,1 0,1 158,8 27,4
2 37000 0,0089 24,4 3 24,4 0,1 0,1 85,8 24,4
4 40000 0.008 22,4 3 22,4 0,1 0,1 85,0 22,4
6 31000 0,0062 22,4 3 22,4 0,1 0,1 64,8 22,4
Share on Facebook

Hey.lt - Nemokamas lankytoj� skaitliukas